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PVD真空离子镀膜设备涂层加工常用靶材

作者: 来源: 日期:2021-11-20 13:32:28 人气:653
彩色系膜层和常规色膜层区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。

锆+氮气:黄绿调金黄色
锆+甲烷:深浅黑色
锆+氧气:白色、透明膜
锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金

铬+甲烷:深浅黑色
铬+氮气:浅黑色
铬+氮气+甲烷:银灰色
铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色

SUS+氧气:紫色
SUS+氮气:蓝色
SUS+甲烷:亮黑色
SUS+甲烷+氮气:蓝黑色

硅+氮气:黑色
硅+氧气:混浊白、透明膜
硅+甲烷:黄色、绿色、蓝色、黑色(靶材纯度高于99%仅能调黑色)

钛+氧气:光学膜七彩截色,不多介绍都懂。
钛+甲烷:深浅黑色( DLC制备不能达标)
钛+氮气:仿金色、黄铜色、紫色、红色
钛+氮气+甲烷:仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色

钨+氮气:棕黄色
钨+甲烷:深浅黑色
钨+氧气:紫色,鲜黄色,棕色,蓝色

以上仅装饰薄膜常用材料及其常用气体,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分颜色甲烷效果更好。
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