CJHL系列磁控多弧真空镀膜机

日期:2016/1/13 10:08:50 人气:5111
CJHL系列磁控多弧真空镀膜机

工作原理

CJHL系列多功能型真空镀膜机中集成了多弧离子镀膜与磁控溅射镀膜两种沉积技术与一体化,特别适用于镀制多种金属膜,也可以镀多层膜、合金膜及化学物质,如镀超硬耐磨损膜、防腐蚀膜、装饰膜(金、银、黑、红、蓝、绿等颜色)、结合磁控溅射技术可镀制多层复合膜,可以镀制不锈钢、铝、钛、钨等多种金属膜,也可镀制如TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、金刚石膜(DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。

应用范围

适用于五金件、玻璃工艺品、陶瓷工艺品等,如手表、手机金属壳、洁具、模具、电子产品、水晶玻璃、眼镜框、餐具、刀具等。近年,电弧离子镀膜技术得到了很大的发展,从原来单一的小弧源发展到柱弧、大平面弧等。而且与中频磁控溅射技术的结合使得设备的适用面更广,比如在硬质涂层的应用、更光洁细密的装饰涂层的应用等。

产品特点

1) 装备低温离子辅助源,无需加热直接常温冷镀成膜,节能省电,提高产能。
2)综合了磁控镀与多弧镀的特点,覆盖领域广泛,能够在各种材料上镀制各类功能膜、装饰膜和带装饰效果的功能膜。

技术参数表

CJHL系列磁控多弧真空镀膜机
型号CJHL-600CJHL-800CJHL-1000CJHL-1200CJHL-1400CJHL-1500CJHL-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空机组KT400扩散泵机组KT500扩散泵机组KT500扩散泵机组KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组
镀膜系统直流电源或中频电源+多弧镀膜电源、多功能孪生磁环弧靶+矩形平面靶+圆柱磁控多弧两用靶(可选配)
辅助镀膜系统低温离子辅助源(除工具镀外无需加温系统)
充气系统质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计
控制方式手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动
抽气速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
极限真空5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa
备注以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做
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