SF系列电子束蒸发光学真空镀膜机

日期:2016/1/13 10:14:16 人气:4074
SF系列电子束蒸发光学真空镀膜机

工作原理

电子束蒸发是将膜材放入水冷铜坩埚中,直接利用电子束加热,使膜材中的原子或分子从表面汽化逸出后入射到基片表面凝结成膜。电子束蒸发比一般电阻加热蒸发热效率高、束流密度大、蒸发速度快,制成的薄膜纯度高。

应用范围

光学镀膜设备可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-50层膜的膜系镀膜,也能满足如汽车反光玻璃、、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀

产品特点

1)  光学镀膜配备有石英晶体膜厚仪,采用PLC与触摸屏系统联合实现对整个工作过程的自动控制,工作效率和产品质量重复性一致性优良.
2)适用于光学领域行业,大规模工业生产要求的厂商使用。

技术参数表

SF系列电子束蒸发光学真空镀膜机    
型号SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空机组KT500扩散泵机组KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组KT500扩散泵机组KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组
镀膜系统电子枪蒸发源、镀膜辅助离子专用电源或霍尔离子源
充气系统压强控制仪
控制方式手动或半自动
膜厚监控系统石英晶体膜厚监控系统
抽气速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
极限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
备注以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做
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