超大型板材管材真空镀膜机

日期:2016/1/13 10:16:58 人气:1266
超大型板材管材真空镀膜机

工作原理

离子镀是真空室中,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其优点是薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等。多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电,而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说,多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极壳体之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对基体进行沉积。

应用范围

可以镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属膜,也可镀制合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,卧式多弧离子镀膜机主要针对大面积五金工件镀装饰膜或者功能膜,适合于在不锈钢板、不锈钢管、不锈钢门等工件表面镀膜。

产品特点

1)、此类设备真空室最大尺寸能实现 φ5000X10000MM(长)
2)、是在大型板材、管材上镀制各类装饰膜层及功能膜膜层的必选设备。

技术参数表

HLB系列大型板材管材真空镀膜机     
型号HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空机组双KT800扩散泵机组双KT1000扩散泵机组双KT1000扩散泵机组*2套双KT1000扩散泵机组双KT1000扩散泵机组*2套双KT1000扩散泵机组*2套双KT1000扩散泵机组*4套
镀膜系统专用多弧镀膜电源+多功能孪生磁环弧靶+柱形弧靶(可选配)
辅助镀膜系统低温离子辅助源(除工具镀外无需加温系统)
充气系统质量流量计
控制方式手动或全自动
抽气速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
极限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
备注以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做
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