GSF系列高精密电子束蒸发光学真空镀膜机

日期:2016/1/13 10:18:51 人气:4089
GSF系列高精密电子束蒸发光学真空镀膜机

工作原理

GSF高精密电子束蒸发光学真空镀膜机的工作原理是将膜材放入水冷铜坩埚中,直接利用电子束加热,使膜材中的原子或分子从表面汽化逸出后入射到基片表面凝结成膜。电子束蒸发比一般电阻加热蒸发热效率高、束流密度大、蒸发速度快,制成的薄膜纯度高。

应用范围

光学镀膜设备可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-90层膜的膜系镀膜,也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀。

产品特点

1)、高精密光学镀膜机配备有石英晶体膜厚仪、光学膜厚自动控制系统,采用PLC与工业电脑配合自主研发的PY3100系统联合实现对整个工作过程的全自动控制,可以实现无人值守,从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。
2)、大抽速真空系统加配深冷装置,优秀的动态真空能力,为复杂的光学膜系制备提供了必要的真空条件保障。
3)、蒸发分布稳定、性能可靠的E型电子枪,优化设计的蒸发源与工件架之间的位置关系,为精密膜系的实现调工了膜料蒸发分布方面的保障。
4)、平稳而高速旋转的工件架转动系统,使工件架内外圈产品光谱曲线更趋于一致。
5)、适用于光学领域行业,大规模工业生产高端要求的厂商使用。

技术参数表

GSF高精密电子束蒸发光学真空镀膜机
型号GSF-800GSF-1200GSF-1400GSF-1600GSFW-1000GSFW-1200GSFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空机组KT400扩散泵机组KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组KT500扩散泵机组KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组
镀膜系统电子枪蒸发源、镀膜辅助离子专用电源或霍尔离子源
充气系统压强控制仪
控制方式半自动或全自动
膜厚监控系统石英晶体膜厚监控系统、光学膜厚监控系统
抽气速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
极限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
备注以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做
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