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工作原理
应用范围
产品特点
技术参数表
ZF系列电阻蒸发真空镀膜机 | |||||||
型号 | ZF-600 | ZF-1200 | ZF-1400 | ZF-1600 | ZF-1800 | ZF-2000 | ZF-2200 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×2200MM | Φ2200×2400MM |
真空机组 | KT500扩散泵机组 | KT6300扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT800扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组 |
镀膜系统 | 电阻蒸发专用变压器、镀膜辅助离子专用电源 | ||||||
充气系统 | 质量流量计 | ||||||
控制方式 | 手动或全自动 | ||||||
抽气速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
极限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
备注 | 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做,可选择保护膜镀膜功能 |