工作原理
WJZ系列无介质独立膜电阻蒸发真空镀膜机的原理是在真空室中将金属材料（铝、镍、锡等）利用电阻蒸发技术将材料汽化，汽化后的金属分子产生飞逸沉积于基材的表面上形成铝、锡等纯金属薄膜层，出炉后将膜层从特别的基材表面可轻轻剥落，形成无介质独立性的厚度为2-3μm，具有一定弹性、能够隔离气体和光线的薄膜。
应用范围
产品特点
技术参数表
| WJZ系列无介质独立膜电阻蒸发真空镀膜机 | |||||||
| 型号 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
| 真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
| 真空机组 | KT300扩散泵机组 | KT400扩散泵机组 | KT500扩散泵机组 | KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT800扩散泵机组 |
| 镀膜系统 | 电阻蒸发源+圆柱磁控多弧（可选配） | ||||||
| 镀膜辅助系统 | 低温离子镀膜电源 | ||||||
| 充气系统 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 |
| 控制方式 | 手动或全自动 | ||||||
| 抽气速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
| 极限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
| 备注 | 以上设备参数仅做参考，具体均按客户实际工艺要求设计订做 | ||||||