工作原理
应用范围
产品特点
技术参数表
CJHL系列磁控多弧真空镀膜机 | |||||||
型号 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空机组 | KT400扩散泵机组 | KT500扩散泵机组 | KT500扩散泵机组 | KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 |
镀膜系统 | 直流电源或中频电源+多弧镀膜电源、多功能孪生磁环弧靶+矩形平面靶+圆柱磁控多弧两用靶(可选配) | ||||||
辅助镀膜系统 | 低温离子辅助源(除工具镀外无需加温系统) | ||||||
充气系统 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 |
控制方式 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 |
抽气速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
极限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
备注 | 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做 |