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工作原理
应用范围
产品特点
技术参数表
DN系列多功能真空镀膜机 | |||||||
型号 | DN-600 | DN-800 | DN-1000 | DN-1200 | DN-1400 | DN-1500 | DN-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空机组 | KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT800扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组 |
镀膜系统 | 直流电源或中频电源+多弧电源+E型电子枪+电阻蒸发舟+霍尔离子源+条形离子源(可选配) | ||||||
辅助镀膜系统 | 低温离子辅助源(除工具镀外无需加温系统) | ||||||
充气系统 | 质量流量计 | ||||||
控制系统 | 工业电脑自动控制(工控机)、PYDNB3000膜层在线编制系统 | ||||||
控制方式 | 手动、半自动、全自动 | ||||||
抽气速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
极限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
备注 | 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做(可选配进口分子泵机组) |