电子束蒸发是将膜材放入水冷铜坩埚中,直接利用电子束加热,使膜材中的原子或分子从表面汽化逸出后入射到基片表面凝结成膜。电子束蒸发比一般电阻加热蒸发热效率高、束流密度大、蒸发速度快,制成的薄膜纯度高。

光学镀膜设备可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系，能够实现0-50层膜的膜系镀膜，也能满足如汽车反光玻璃、、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀

1)  光学镀膜配备有石英晶体膜厚仪,采用PLC与触摸屏系统联合实现对整个工作过程的自动控制,工作效率和产品质量重复性一致性优良.
2）适用于光学领域行业,大规模工业生产要求的厂商使用。