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工作原理
应用范围
产品特点
技术参数表
HLB系列大型板材管材真空镀膜机 | |||||||
型号 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空机组 | 双KT800扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组*2套 | 双KT1000扩散泵机组 | 双KT1000扩散泵机组*2套 | 双KT1000扩散泵机组*2套 | 双KT1000扩散泵机组*4套 |
镀膜系统 | 专用多弧镀膜电源+多功能孪生磁环弧靶+柱形弧靶(可选配) | ||||||
辅助镀膜系统 | 低温离子辅助源(除工具镀外无需加温系统) | ||||||
充气系统 | 质量流量计 | ||||||
控制方式 | 手动或全自动 | ||||||
抽气速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
极限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
备注 | 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做 |