CJ系列磁控溅射真空镀膜机
日期:2016-01-16 13:28:37 人气:77663
CJ系列磁控溅射真空镀膜机的磁控溅射工作原理,所谓“溅射”就是用荷能粒子(通常用气体正离子)轰击物体,从而引起物体表面原子从母体中逸出的现象。早在1842年Grove在实验室中就发现了这种现象。磁控溅射靶采用静止电磁场,磁场为曲线形,均匀电场和对数电场则分别用于平面靶和同轴圆柱靶。电子在电场作用下,加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞。若电子具有足够的能量(约为30ev)时,则电离出Ar+并产生电子,电子飞向基片,Ar+在电场作用下,加速飞向阴极(溅射靶)并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。
广泛应用于家电电器、钟表、高尔夫球头、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层,在镀制超黑膜、纯金装饰膜、导电膜等领域有优势。
1)、膜厚可控性和重复性好。能够可靠的镀制预定厚度的薄膜,并且溅射镀膜可以在较大的表面上获得厚度均匀的膜层;
2)、薄膜与基片的附着力强。部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象,在基片上形成一层溅射原子与基片原子相互溶合的伪扩散层;
3)、制备特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜、化合膜,还可溅射成TiN仿金膜;
4)、膜层纯度高,溅射膜层中不会混入坩锅加热器材料的成份。
5 )、装备低温离子辅助源,无需加热直接常温冷镀成膜,节能省电,提高产能。
CJ系列磁控溅射真空镀膜机 | | | | | |
型号 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空机组 | KT400扩散泵机组 | KT500扩散泵机组 | KT800扩散泵机组 | KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 | 双KT630扩散泵机组 |
镀膜系统 | 直流或中频电源、镀膜辅助离子专用电源 |
充气系统 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 |
控制方式 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 | 手动或全自动 |
极限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
备注 | 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做 |