CJ系列磁控溅射真空镀膜机

日期:2016-01-16 13:28:37 人气:59757

CJ系列磁控溅射真空镀膜机

工作原理

CJ系列磁控溅射真空镀膜机的磁控溅射工作原理,所谓“溅射”就是用荷能粒子(通常用气体正离子)轰击物体,从而引起物体表面原子从母体中逸出的现象。早在1842年Grove在实验室中就发现了这种现象。磁控溅射靶采用静止电磁场,磁场为曲线形,均匀电场和对数电场则分别用于平面靶和同轴圆柱靶。电子在电场作用下,加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞。若电子具有足够的能量(约为30ev)时,则电离出Ar+并产生电子,电子飞向基片,Ar+在电场作用下,加速飞向阴极(溅射靶)并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。 

应用范围

广泛应用于家电电器、钟表、高尔夫球头、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层,在镀制超黑膜、纯金装饰膜、导电膜等领域有优势。

产品特点

1)、膜厚可控性和重复性好。能够可靠的镀制预定厚度的薄膜,并且溅射镀膜可以在较大的表面上获得厚度均匀的膜层;
2)、薄膜与基片的附着力强。部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象,在基片上形成一层溅射原子与基片原子相互溶合的伪扩散层;
3)、制备特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜、化合膜,还可溅射成TiN仿金膜;
4)、膜层纯度高,溅射膜层中不会混入坩锅加热器材料的成份。
5 )、装备低温离子辅助源,无需加热直接常温冷镀成膜,节能省电,提高产能。

技术参数表

CJ系列磁控溅射真空镀膜机     
型号CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空机组KT400扩散泵机组KT500扩散泵机组KT800扩散泵机组KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组双KT630扩散泵机组
镀膜系统直流或中频电源、镀膜辅助离子专用电源
充气系统质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计质量流量计
控制方式手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动手动或全自动
极限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
备注以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计订做
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