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真空镀膜机精抽太慢的几个原因

作者: 来源: 日期:2016/1/12 16:38:58 人气:4769
    真空镀膜机精抽太慢主要从以下几个方面进行原因查找:
 一、扩散泵可能不太给力。
 解决办法:可以用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限,然后进行对比。
    二、真空系统有微漏。
 解决办法:这就需要慢慢检漏,看看保真空时间能不能达不达标。
 三、箱体太脏,太脏放气量就大了。
 解决办法:清洗箱体
 四、前级真空度不行,机械泵或机械泵加罗茨泵的极限真空不行。
 解决办法:可以用电阻规单独检测前级管道。
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