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真空镀膜机和镀膜机的区别镀膜技术产品技术特点

作者: 来源: 日期:2016-02-04 9:23:33 人气:3703
    真空镀膜机一般泛指物理气相沉积技术;镀膜机则包括物理气相沉积和化学气相沉积,以及化学等离子气相沉积,范围比较广。冷水机根据冷凝器的不同,有风冷式冷水机和水冷式冷水机。根据温度的不同,有低温冷水机(零下50度以内都可),螺杆式冷冻机,大型冷冻机组等。镀膜冷水机,需要注意根据客户要求的水压来给客户选择冷水机型号,有激光镀膜冷水机,真空镀膜冷冻机,镀膜机专用冷水机。
    真空镀膜机冷水机有水冷式、风冷式两种,水冷式制冷效果较好,但需要冷却水,风冷式灵活方便,无需冷却水,适合缺水地区或需移动场合使用。奥德机械新近推出ACH型冰热两用机,在低温高精度控温领域有着广泛的用途。

    真空镀膜机的特点:

    一、配备:
    1、压缩机:日本三洋压缩机超高能效,低噪音,安全可靠;
    2、泵浦:LG、源立大流量冷冻机专用涡流水泵,不堵塞起动扭矩大;
    3、电脑PC板,触摸式控制,安全方便;
    4、温控器:进口液晶显示温控电子板;
    5、美国进口ALCO膨胀阀、过滤器;
    6、内置外覆绝热材料的304不锈钢水箱1个;
    7、韩国LG电器;
    8、安全保护系统
    
    1、压缩机延时起动保护◎冰水泵过载及指示灯
    2、压缩机过载保护
    3、马达反转保护及指示灯4、压缩机过载保护及指示灯
    4、冷媒不足保护及指示灯
    5、冷媒高压安全阀◎散热不良保护及指示灯

    产品技术特点:
    1、真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率,提高了重大部件的加工质量和互换性,缩短了整条线的交货周期。
    2、使用高性能旋转阴极和中频电源,最大蒸发电流达到400A,大大提高生产效率及膜层性能;
    3、通过辅助5段供气,提高真空环境工艺气体分布均匀性,提高膜层质量;
    4、安装整体式模块化阴极屏蔽挡板,大大减少维修时间,降低维修成本。
    5、阴极采用隔离冷却装置,改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境,大大提高了阴极稳定性和寿命。
    6、采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列,扩大了阴极靶材表面气隙场范围,增大了靶材被刻蚀溅射的面积,提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。
    7、使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统,系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整,为阴极研发提供有效的技术手段。
    8、触摸屏+PLC,可以实现电脑全自动控制,自动手动随时切换。
    9、同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和高效的电阻加热蒸发装置,将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合,使设备的适用范围更广,可得到多种不同性能的膜层;
    10、独特的双门(室)结构,使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行,大大提高工作效率。</p>
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