分析现有光学真空镀膜机比较片机构在使用过程中存在的问题。根据现代光学真空镀膜机的发展趋势和实际生产中急需解决的问题，通过多方面的研究分析，优化设计新一代的镀膜机比较片结构，解决影响光学薄膜质量和超多层精密光学薄膜镀制的问题，以提高薄膜的监控精度，实现系统的自动控制，提高光学真空镀膜机生产效率，降低生产成本。使现代光学真空镀膜机的结构配置及使用效果达到最佳。
　　从上世纪八十年代以来，全球光电科学技术发展与进步迅猛，我国研发光学真空镀膜机设备，在引进消化吸收的基础上，也迅速发展起来。最近二十多年，我国逐渐成为全球光学产品的加工基地，作为光学产品的关键工序，也是最后一道工序-- 镀膜，要求越来越高，真空镀膜机性能和配置也必然要得到加强，提高设备质量、完善设备性能、提高生产效率等问题就显现出来，这就涉及到此类设备的改造、设计研发，要求相关技术人员去解决。
　　真空镀膜机比较片机构就是该类设备的必不可少的关键部件，高端配置的设备对比较片机构要求越来越高，它对镀制多膜层的检测和生产效率有着重要的不可替代的作用。
        现有真空镀膜机比较片机构
　 　国内低端的真空镀膜机，从发展之初到近10年左右，大多还沿用的该比较片结构，如图1 所示。此比较片换位机构，通常由6 个独立的直径Φ22mm 的比较片组成。该机构主要由1 个托盘16、三个支撑杆110 及1 个比较片盘18 组成，三个支撑杆110 对托盘16起固定、支撑的作用，比较片盘18 靠齿轮啮合把运动输入使之旋转拨片，三者配合就完成拨片换位动作。由于一般的镀膜机真空室直径尺寸都不大，整个机构的直径(Φ124mm)相比较就有些偏大，导致工件盘上可装载的镀制工件面积比较小，并且该机构只可放置6 个比较片13，直接影响生产效率。
　　该结构的特点是：结构简单，加工制造方便，安装实施方便易行。缺点：该结构直径面积比较大，影响装载工件的数量；比价片放置数量少，降低了生产效率；强度和刚度有限，又由于该结构完全暴露在真空室内，真空室内高温溅射磨料的影响，使转动平稳性、灵活性一般，传动位置重复的一致性误差较大，清洗维护频繁。
　　根据现有比较片结构在使用过程中暴露出的问题，对原有通用镀膜机比较片结构进行多次的改进，通过设计可重叠放置比较片存储筒，使比较片机构直径所占面积减小，但放置的比较片数量增加到20 片左右， 整个机构直径缩小为Φ89mm。结果可增加较小工件镀膜盘上装载工件的数量，提高生产效率，还可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动控制。
　　具体动作实施，改进后多片比较片机构的转动，通过连接板23 和连接块21 固定在真空室顶板上，比较片机构的旋转运动，由旋转密封轴把运动输入真空室内的大齿轮，带动小齿轮所在传动轴24 的转动，最终实现整个比较片机构的转动。比较片切换比较片时，通过拨盘29 转动一个工位，比较片存储筒219 内落下一个比较片，到达预设的位置，同时，切换的比较片随着工位转动落在比较片接受筒212 内，每切换一次，拨动一个工位。其中，传动轴24、大齿轮、小齿轮和轴承座组成的传动机构来完成拨盘转动。

　　其特点是：(1)减小比较片机构直径的面积，提高装载镀制工件的数量；(2) 增加比较片的数量，提高生产效率，提高薄膜监控的精度，降低对硬件系统的要求，系统容易实现自动控制。缺点：该比较片结构直径小而长(Φ89×370)，影响其使用的强度和刚度；由于该结构暴露在高温溅射磨料的真空室内，影响其转动平稳性、灵活性，且转动位置重复的一致性较差，维护清洗频繁费工。

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