随着科技的发展，真空镀膜工艺技术已经在：太阳能集热管、太阳能电池、磁带、光盘、半导体器件、光学器件、光电显示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬涂层、汽轮机叶片的抗热涂层、五金制品、手表、手机和眼镜的装饰、塑料制品金属化、包装用塑料薄膜等多个领域广泛应用。

真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。工艺方法上可分为：真空蒸镀、离子镀、溅射镀、束流沉积镀以及分子束外延等。真空镀膜设备的运行性能直接影响生产工艺、产品质量和生产，为了使设备的运行性能正常，必须建立和完善设备的；维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理. 而制定的管理制度。

1.有完善的制度,如设备的使用操作规程。维修人员在维修时应挂放“正在维修”牌，并切断电源以防他人使用机器设备等.

2.在工厂生产管理中,设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。

二、设备的维护，维护可分为：日常维护和定期维护。

1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间在维护，可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。

2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都有自己使用寿命，比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右，我就规定1年半就把它换掉，这样做是不是浪费，我觉的不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低，生产效率也提高了。

三、设备维修：说到维修很多人都头疼的是真空部分的漏气，真空部分出了问题比较麻烦，再加上很多公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。真空抽不上去原因可能有以下几点：

1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气；

2.也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了；

3.也许是真空室内太脏放气。

或者是这几种可能都有。出现问题，首先是要判断，是不是拆装过东西？会不会漏水？阀门打开了吗？根据现象判断原因，然后再去根据判断找问题，可能会收到事半功倍的效果。有次我们清洗弧蒸发源，清洗完装上一试抽真空比以前慢了，就怀疑是弧蒸发源漏气，后来经过检查是弧蒸发源的一个密封圈本来是要更换的，在装配时认为还可以就没有更换，结果就造成了漏气。