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镀膜设备维护

作者: 来源: 日期:2016/6/2 11:05:34 人气:840

随着科技的发展,真空镀膜工艺技术已经在:太阳能集热管、太阳能电池、磁带、光盘、半导体器件、光学器件、光电显示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬涂层、汽轮机叶片的抗热涂层、五金制品、手表、手机和眼镜的装饰、塑料制品金属化、包装用塑料薄膜等多个领域广泛应用。

真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。工艺方法上可分为:真空蒸镀离子镀溅射镀束流沉积镀以及分子束外延等。真空镀膜设备的运行性能直接影响生产工艺、产品质量和生产,为了使设备的运行性能正常,必须建立和完善设备的;维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

一、维护与维修制度,为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理. 而制定的管理制度。

1.有完善的制度,如设备的使用操作规程。维修人员在维修时应挂放“正在维修”牌,并切断电源以防他人使用机器设备等.

2.在工厂生产管理中,设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。

二、设备的维护,维护可分为:日常维护和定期维护。

1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象,就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加,不要认为这油是定期更换的,等到了时间在维护,可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡,就要更换轴承,而等到它彻底的坏了再换,问题可就大了,可能引起转架电机烧毁等。

2.定期维护,有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗?其实每一种设备都有自己使用寿命,比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右,我就规定1年半就把它换掉,这样做是不是浪费,我觉的不浪费,从设备服务于生产来说是值得的,老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了,在延长设备寿命的同时,生产过程中出现故障的几率也大大降低,生产效率也提高了。

三、设备维修:说到维修很多人都头疼的是真空部分的漏气,真空部分出了问题比较麻烦,再加上很多公司没有检漏仪,这就要分阶段来找。真空抽不上去原因可能有以下几点:

1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气;

2.也许是真空机组的抽气能力不够了,油被污染或氧化了;

3.也许是真空室内太脏放气。

或者是这几种可能都有。出现问题,首先是要判断,是不是拆装过东西?会不会漏水?阀门打开了吗?根据现象判断原因,然后再去根据判断找问题,可能会收到事半功倍的效果。有次我们清洗弧蒸发源,清洗完装上一试抽真空比以前慢了,就怀疑是弧蒸发源漏气,后来经过检查是弧蒸发源的一个密封圈本来是要更换的,在装配时认为还可以就没有更换,结果就造成了漏气。



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