微信扫一扫 关注浦元最新动态！ 物理气相沉积介绍之真空卷绕镀膜技术：
真空卷绕镀膜(卷对卷)是在真空下应用不同方法在柔性基体上实现连续镀膜的一种技术。它涵盖真空获得、机电控制、高精传动和表面分析等多方面内容。其重点是，在保证镀膜质量前提下提高卷绕速率、控制镀膜稳定性及实施在线监控。卷对卷技术成本低、易操作、与柔性基底相容、生产率高及可连续镀多层膜等优点。第一台真空蒸发卷绕镀膜机1935年制成，现可镀幅宽由500至2500mm。卷对卷技术应用由包装和装饰用膜，近年逐渐扩大至激光防伪膜、导电等功能薄膜方面，是未来柔性电子等行业的主流技术之一。
真空卷绕镀膜系统按结构可分为单室、双室和多室真空卷绕系统，后两者可解决开卷放气问题并分别控制卷绕和镀膜室各自真空度。卷绕张力控制分锥度、间接和直接控制模型，锥度控制模型可解决薄膜褶皱和径向力分布不均的问题；间接张力控制无需传感器，可用内置张力控制模块的矢量变频器代替；直接张力控制通过张力传感器精确测量张力值，但需惯性矩和角速度等多种参数。真空卷绕镀膜主要有真空蒸发、磁控溅射等方式，可用于制备新型高折射率薄膜、石墨烯等纳米材料和柔性太阳能电池等半导体器件。针对真空卷绕镀膜技术研究现状及向产业化过渡存在的问题，最后作了简要分析与展望。
真空卷对卷设备由抽真空、卷绕、镀膜和电气控制等系统组成。真空卷绕镀膜设备根据真空室有无挡板，可分单室、双室和多室结构。单室的收放卷辊和镀膜辊在同一室中，结构简单但开卷时放气会污染真空环境。双室结构将系统用挡板隔成卷绕和镀膜室，卷辊与挡板间隙约1.5mm，避免了类似开卷放气问题。多室常用于制备复合薄膜，在双室基础上将相邻镀膜区用挡板隔开避免干扰。如Krebs等将Skultuna FlexiblesAB的开普顿挡板固定于两磁控溅射靶间，板两侧涂覆50μm的铜层。分隔挡板与真空室壁狭缝越小越好。据镀膜时辊筒作用分为单主辊和多主辊卷绕镀膜机。据电机个数，则可分为两电机、三电机和四电机驱动系统。