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真空镀膜设备行业应用磁控溅射镀膜机的清洗工艺

作者: 来源: 日期:2017-06-14 10:38:59 人气:4557
        真空镀膜设备行业应用磁控溅射镀膜机的清洗工艺
  磁控溅射镀膜机在使用前,一定要注意清洗保养。包括真空材料、真空零部件等。
  真空工艺进行前应清洗真空材料,从工件或系统材料表面清除污染物;真空零部件的表面清洗处理也是很有必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源不仅会使真空系统不能获得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同时也会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
  污染物可以定义为“任何一种无用的物质或能量”,根据污染物的物理状态可分为固体、气体及液体,它们以膜或散粒形式存在。就其化学特征来看,它可以处于离子态或共价态,可以是无机物或有机物。
  暴露在空气中的表面最易受到污染,污染的来源有多种,最初的污染通常是表面本身形成过程中的一部分。吸附现象、化学反应、浸析和干燥过程、机械处理以及扩散和离析过程都使各种成分的表面污染物增加。比较常见的真空材料表面上的污染物具体有以下几种类型。
  ①油脂:加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;
  ②水基类:操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等;
  ③表面氧化物:材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物;
  ④酸、碱、盐类物质:清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等;
  ⑤抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。
  清洗后的表面根据要求分为原子级清洁表面和工艺技术上的清洁表面两类。
  前期到位的清洗工作可以减少很多麻烦,避免很多小问题的发生,对工作效率、磁控溅射镀膜机镀膜质量都具有非常积极的作。可大大提高真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温、以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击
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  1、镀膜技术在装饰品方面的应用
  随着经济的发展和生活水平的提高,人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。
  2、镀膜技术在刀具、模具等金属切削加工工具方面的应用
  在生活中我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。
  (1)金黄色的是在刀具上涂镀了TiN、ZrN 涂层。TiN是第一代应用广泛的硬质层材料。
  (2)黑色的是在切削工具上涂了TiC、CrN涂层。
  (3)钴铜色的是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
  3、镀膜技术在建筑玻璃和汽车玻璃上的应用
  建筑玻璃有透光和隔热两个基本功能。普通玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量,这对采光和吸收太阳光线的能量十分有利。而对于空间红外辐射,普通玻璃虽能阻止室内的热量直接透过室外,但热量被玻璃吸收后的二次散热也会造成很大的损失。随着经济的发展,普通玻璃已越来越不能满足人们的要求。而阳光控制膜和低辐射膜正好能弥补了普通玻璃在这一方面的不足。阳光控制膜可以满足低纬度地区降低室内温度的要求;而低辐射膜则能满足高纬度地区充分接受太阳辐射能量和最大限度阻止室内热量外流的要求。
  在玻璃上,镀涂一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃。这种工艺在汽车玻璃上有很好的应用。
  4、镀膜技术在平板显示器中的应用
  所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜,而且几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ITO膜,以满足透明电器的要求。可以毫不夸张的说:没有薄膜技术就没有平板显示器件。
  5、镀膜技术在太阳能利用方面的应用
  当需要有效地利用太阳热能时,就要考虑采用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所引起的损耗较小的吸收面。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20µm之间的红外波段。由于太阳辐射与热辐射光谱在波段上有差异,因此,为了有效的利用太阳热能,就必须考虑采用具有波长选择特性的吸收面。理想的选择吸收面是太阳辐射光谱的波段(可见光波段)吸收率(α)为1,在热辐射波段(红外波段)辐射率工艺
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