微信扫一扫 关注浦元最新动态！ 真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold组成。
下面，详细介绍真空镀膜机的各部分组成及其工作原理：
1、真空主体：真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
2、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用"扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold"组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
昆山浦元真空技术工程有限公司是一家专业研究制造生产真空镀膜设备及其它真空相关设备的国家高新科技企业。公司本着“专注研究镀膜工艺，提供最优质的产品及服务”的理念，赢得国内外客户的满意及信任，并成功打开国外市场。我们将会秉承客户的认可，将镀膜机研发事业推向新的高峰。