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真空镀膜机的各部分组成及其工作原理

作者: 来源: 日期:2018/1/18 13:27:24 人气:1515
真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,排气系统采用扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold组成。
下面,详细介绍真空镀膜机的各部分组成及其工作原理:
1、真空主体:真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。  
2、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用"扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold"组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。 
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