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良好的薄膜须具备那些特性?影响的因素有哪些?

作者: 来源: 日期:2020-07-14 13:09:36 人气:1694

通俗的定义为在正常状况下,其应用功能不会失效。

想要达到这个目的,一般而言这层薄膜必须具有坚牢的附着力、很低的内应力、针孔密度很少、够强的机械性能、均匀的膜厚、以及足够的抗化学侵蚀性。

薄膜的特性主要受到沉积过程、成膜条件、接口层的形成和基材的影响,随后的热处理亦扮演重要角色。 


沉积的薄膜有内应力的存在,其来源为何? 

薄膜和基材之间的晶格失配 

薄膜和基材之间的热膨胀系数差异 

晶界之间的互挤

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