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膜厚的量测方法有哪些

作者: 来源: 日期:2020/7/28 13:56:26 人气:421

膜厚的量测方法大致上可分为原位量测、离位量测两类 

原位星测系指镀膜进行中量测,普遍使用在物理气相沉积,如微天平、光学、电阻量测。

离位量测系指镀膜完成后量测,对电镀膜的行使较为普遍,具有了解电镀效率的目的,如质量、剖面计、扫描式电子显微镜。

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