膜厚的量测方法大致上可分为原位量测、离位量测两类 

原位星测系指镀膜进行中量测，普遍使用在物理气相沉积，如微天平、光学、电阻量测。

离位量测系指镀膜完成后量测，对电镀膜的行使较为普遍，具有了解电镀效率的目的，如质量、剖面计、扫描式电子显微镜。