微信扫一扫 关注浦元最新动态！1. 电阻蒸发源蒸镀发
A. 加热：高熔点金属做成适当形状蒸发源，电流通过直接加热。
B. 优点：结构简单、造价便宜、使用可靠
C. 缺点：所能到到的最高温度有限，加热器寿命较短
D. 适合：熔点不太高，尤其对膜层质量要求不大高的大批量生产。
2. 电子束蒸发源蒸镀发
A. 蒸发材料放入冷水钳锅中，利用电子束加热
B. 优点：获得更大能量密度，使高熔点材料蒸发且速度快，膜的纯度较高，热效率高。
C. 分类：环形枪，直枪，e型枪和空心阴极枪等几种。
D. 适合：高熔点，纯度要求高的材料。