真空蒸镀之工艺对比

1. 电阻蒸发源蒸镀发  


A. 加热：高熔点金属做成适当形状蒸发源，电流通过直接加热。 


B. 优点：结构简单、造价便宜、使用可靠


C. 缺点：所能到到的最高温度有限，加热器寿命较短


D. 适合：熔点不太高，尤其对膜层质量要求不大高的大批量生产。 


 2. 电子束蒸发源蒸镀发 


A. 蒸发材料放入冷水钳锅中，利用电子束加热


B. 优点：获得更大能量密度，使高熔点材料蒸发且速度快，膜的纯度较高，热效率高。


C. 分类：环形枪，直枪，e型枪和空心阴极枪等几种。


D. 适合：高熔点，纯度要求高的材料。