物理蒸镀就是把物质加热挥发，然后将其蒸气沉积在预定的基材上。由于蒸发源须加热挥发，又是在真空中进行，故亦称为热蒸镀或真空蒸镀。

其可分为三个步骤: 

(1)凝态的物质被加热挥发成汽相  
(2)蒸汽在具空中移动一段距离至基材 
(3)蒸汽在基材上冷却凝结成薄膜