真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备，对其操作程序的了解是至关重要的环节，在真空镀膜机的具体操作过程中建议参照以下标注说明：

        一、 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

        二、打开总电源开关，设备送电。

        三、低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

        四、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

        五、落下钟罩。

        六、启动抽真空机械泵。

        七、开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。

               1）左旋钮"1"顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

               2）低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

        八、当低真空表"2"内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。

        九、 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

        十、低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮"1"转至指向2区段测量位置。低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀(阀杆顺时针旋转)。

        十一、等低真空表"2"内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

                1）发射、零点测量钮"9"旋转至指向发射位置。

                2）左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。

        十二、 旋转发射调节钮"4"，使高压真空表"5"内指针指向5。

        十三、 发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向零点位置。

        十四、旋转零点调节钮"10"，让高压真空表"5"内指针指向0位置。

        十五、 发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向测量位置。

        十六、旋转标准调节钮"3"，让高压真空表"5"内指针指向10。

        十七、旋转"倍加器"开关钮"8"至指向10-12，当高压真空表"5"内指针逆时针左移超过1时，再把"倍加器"开关旋钮"8"旋转至指向10-3。

        十八、当高压真空表"5"内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。

        十九、开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。

                  1）从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。

                  2）当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。

                  3）铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。

                  4）右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。

        二十一、 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。

        二十二、 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。

        二十三、 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。

        二十四、钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。

        二十五、 落钟罩。开机械泵。

                    1） 左下旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置 。

                    2）当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。

                    3） 左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。

                    4）当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

                    5）当低压真空表"2"内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。

                    6）由⑰开始重复操作至⑳ 。

        二十六、 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。