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镀膜工艺设计

作者: 来源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人气:8418

镀膜工艺之设计应着重考虑不同薄膜材料之间需要不同的沉积工艺,

不同溅射技术的实施(直流、中频、射频、脉冲、反应溅射,以及它们之间的结合而发展的技术,或者新技术的应用等),

同种技术不同工艺参数的调整(功率,气压,沉积方式等),前处理(清洗、预热等),后处理(热处理等)。

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