镀膜工艺设计

镀膜工艺之设计应着重考虑不同薄膜材料之间需要不同的沉积工艺，

不同溅射技术的实施(直流、中频、射频、脉冲、反应溅射，以及它们之间的结合而发展的技术，或者新技术的应用等)，

同种技术不同工艺参数的调整(功率，气压，沉积方式等)，前处理(清洗、预热等)，后处理(热处理等)。