2017-10-21 18:09:35 人气(6598)
PVD是物理气相沉积的缩写。物理气相沉积描述了各种真空沉积方法,其可广泛用于在诸如塑料,玻璃,金属,陶瓷等的不同基底上生产薄膜和涂层. PVD的特征在于其中材料从固态到气态,然后回到薄膜固态。最常见的PVD工艺是离子,溅射,电子束和蒸发。 PVD用于制造需要用于机械,光学,化学或电子功能的薄膜的物品。
工业常见PVD涂层如Cu,Al,Cr,Au,Ni的纯金属膜,和TiN,TiC,TiCN,TiAlN,ZrN,CrN,CrSiN,ZrTiCN,TiAlCN,ZrC,TiALN,DLC等复合膜。
常见PVD真空镀膜机:
阴极电弧离子PVD真空镀膜机:靶材在放电的高功率电弧作用下将其上物质喷射沉积在工件上。
电子束PVD真空镀膜机:待沉积的材料,在“高”真空中的电子轰击中,冷凝沉积在工件上。